リニアモータメーカ X社
露光装置、検査装置、測定装置等の半導体製造装置メーカへリニアモータをご提案したいX社。
「装置のコンパクト化、高性能化、IoT化を実現するサーボシステムを提供したい」とシステム構築依頼が舞い込んだ。しかし、さまざまな課題が見つかり、構築は難航が予測された。
アンプには、EtherCAT通信制御サイクル最短125μs、高精度時刻同期機能対応のADVシリーズを採用。そして上位コントローラには、小型で実績豊富なIoT対応産業用コントローラのHXシリーズ スタンドアロンキット CNCモーションモデルを採用。EtherCATマスタ機能標準搭載かつCPUモジュール単独制御が可能なため、各種モジュールも不要となり、コストを削減できました。
また、HXシリーズに搭載されているWeb Visualization機能を活用すれば、専用HMIを用意することなく、汎用のWebブラウザからコントローラのWebサーバにアクセスし、モニタリングや遠隔操作が可能に。現場担当者の負担を大幅に軽減することができます。
コントローラ用のサンプルプロジェクト（プログラム）は日立産機システムホームページに公開されているため、初期作業の負荷や開発時間を低減でき、大幅な効率化を実現できます。
X社では日立産機システムのサーボシステム、コントローラを採用したデモ機を製造。
デモ機の評価も上々で、露光装置、検査装置、測定装置メーカ向けた積極的な提案を行っています。
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