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Hitachi

株式会社日立産機システム

PCU型

主な特長

半導体製造装置、搬送装置、保管庫、クリーンブース用途。

PCU-0606DB、PCU-0612DB 外観写真

機外静圧 98Pa対応を実現

ケミカルフィルタ等の圧力損失を考慮。

消費電力低減

(HEPAフィルタ装着機比)
PCU-0606DP(当社従来機): 122W → PCU-0606DB(モデルチェンジ機): 75W
PCU-0612DP(当社従来機): 245W → PCU-0612DB(モデルチェンジ機): 140W

電源は、単相AC100V/200V共用

オプションでDC36Vも対応可能。

無段変速調整

風量コントローラの設定で風量0〜18m3/minまで調整可能。
PCU-0606DBタイプ: 0〜11m3/min
PCU-0612DBタイプ: 0〜18m3/min
(風量は、製品サイズ、フィルタ仕様により異なります。)

PTFEフィルタ仕様において全高98mmを実現

 

仕様表

薄型フィルタユニット [PCU型]
型式 可変速タイプ
PCU-0606DB-E PCU-0606DB-M PCU-0606DB PCU-0612DB-E PCU-0612DB-M PCU-0612DB
フィルタ(二次側ラス網付) PTFE ULPA HEPA PTFE ULPA HEPA
試験粒子径
集じん効率(%)
0.1 μm
99.999
0.3 μm
99.99
0.1 μm
99.999
0.3 μm
99.99
製品サイズ (mm) 610×610 610×1220
製品高さ (mm) 98 123 98 123
風量*1 (m3/min) 6.9±20% (風速 0.35m/s 時) 14.1±20% (風速 0.35m/s 時)
消費電力*1 (W) 95±20% 80±20% 75±20% 175±15% 145±15% 140±15%
定格電源電圧 (V) 単相 AC100V/200V 共用 50/60Hz
質量 (kg) 10 11 17 18
風量調整範囲*2 (m3/min) 0 〜 6.9 0 〜 10 0 〜 11 0 〜 14.1 0 〜 18
*1
風速:0.35m/s 機外静圧:98Pa
*2
風量は、風量コントローラの設定で調整範囲内で調整可能です。