製造装置用フィルタユニット

FFU(ファンフィルタユニット)は半導体製造工場等のクリーンルームの清浄度を保つために主にクリーンルームの天井に設置し、清浄空気を供給する装置です。
日立のFFUは、DCBLタイプにも対応し、省エネ運転も実現します。また、多彩なオプションにも対応します。

製造装置用ファンフィルタユニット：PCU型

日立のファンフィルタユニットは高効率ファンを使用することにより薄型・省エネ・軽量化を実現しました。
半導体製造装置内のFFU上部に設置する電機品が増えても、風速などの仕様を変更せずに薄型化することができます。

装置用FFUの特長

• 半導体製造装置に組み込みやすいように、軽量薄型を実現しました。
• ファン総合効率の高さから発熱が少なく温度上昇による影響が小さいモータ・ファンの高効率を実現しています。
• ケミカルフィルタ等の圧力損失を考慮して機外静圧98Pa対応可能にしております。
• 低消費電力を実現し、省エネに貢献する設計になっています。
• 1台のファンで大風量を実現しているため、運用性に優れカスタマイズ品に柔軟に対応します。
  詳細はお問い合わせください。
• 外部風速制御にもフレキシブルに対応可能です。
• 全数検査しており、安心安全のサービス体制を整えています。
• 豊富な電源バリエーションをもっており、4種類の電源から選択できます。
  （1φ　AC100V、1φ　AC200V、DC　48V、3φ　AC200V）

用途例

半導体製造装置、搬送装置、再生医療、クリーンブース

機外静圧　98Pa対応を実現

ケミカルフィルタ等の圧力損失を考慮。

消費電力低減

(HEPAフィルタ装着機比)
PCU-0606DP(当社従来機)：　122W　→　PCU-0606DB(モデルチェンジ機)：　75W
PCU-0612DP(当社従来機)：　245W　→　PCU-0612DB(モデルチェンジ機)：　140W

電源は、単相AC100V/200V共用

オプションでDC36Vも対応可能。

無段変速調整

風量コントローラの設定で風量0〜18m3/minまで調整可能。
PCU-0606DBタイプ：　0〜11m3/min
PCU-0612DBタイプ：　0〜18m3/min
(風量は、製品サイズ、フィルタ仕様により異なります。)

PTFEフィルタ仕様において全高98mmを実現

仕様表

薄型フィルタユニット　［PCU型］

型式	可変速タイプ
	PCU-0606DB-E	PCU-0606DB-M	PCU-0606DB	PCU-0612DB-E	PCU-0612DB-M	PCU-0612DB
フィルタ(二次側ラス網付)	PTFE	ULPA	HEPA	PTFE	ULPA	HEPA
試験粒子径 集じん効率(%)	0.1 μm 99.999		0.3 μm 99.99	0.1 μm 99.999		0.3 μm 99.99
製品サイズ (mm)	610×610			610×1220
製品高さ (mm)	98	123		98	123
風量*1 (m3/min)	6.9±20% (風速 0.35m/s 時)			14.1±20% (風速 0.35m/s 時)
消費電力*1 (W)	95±20%	80±20%	75±20%	175±15%	145±15%	140±15%
定格電源電圧 (V)	単相 AC100V/200V 共用　50/60Hz
質量 (kg)	10	11		17	18
風量調整範囲*2 (m3/min)	0 〜 6.9	0 〜 10	0 〜 11	0 〜 14.1	0 〜 18

*1

風速：0.35m/s　機外静圧：98Pa

*2

風量は、風量コントローラの設定で調整範囲内で調整可能です。