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クリーンエア装置
製造装置用フィルタユニット：PCU型
日立のファンフィルタユニットは高効率ファンを使用することにより薄型・省エネ・軽量化を実現しました。 半導体製造装置内のFFU上部に設置する電機品が増えても、風速などの仕様を変更せずに薄型化することができます。
特長
半導体製造装置に組み込みやすいように、軽量薄型を実現しました。
ケミカルフィルタ等の圧力損失を考慮して機外静圧98Pa対応可能にしております。
低消費電力を実現し、省エネに貢献する設計になっています。
1台のファンで大風量を実現しているため、運用性に優れカスタマイズ品に柔軟に対応します。 詳細はお問い合わせください。
外部風速制御にもフレキシブルに対応可能です。
全数検査しており、安心安全のサービス体制を整えています。
豊富な電源バリエーションをもっており、4種類の電源から選択できます。
（1φ AC100V、1φ AC200V、DC 48V、3φ AC200V）
用途例
半導体製造装置、搬送装置、再生医療、クリーンブース
機外静圧 98Pa対応を実現
ケミカルフィルタ等の圧力損失を考慮。
消費電力低減
(HEPAフィルタ装着機比)
PCU-0606DP(当社従来機)： 122W → PCU-0606DB(モデルチェンジ機)： 75W
PCU-0612DP(当社従来機)： 245W → PCU-0612DB(モデルチェンジ機)： 140W
電源は、単相AC100V/200V共用
オプションでDC36Vも対応可能。
無段変速調整
風量コントローラの設定で風量0～18m3/minまで調整可能。
PCU-0606DBタイプ： 0～11m3/min
PCU-0612DBタイプ： 0～18m3/min
(風量は、製品サイズ、フィルタ仕様により異なります。)
PTFEフィルタ仕様において全高98mmを実現
仕様表
お問い合わせ
製品に関するお問い合わせ・お見積り、カタログのダウンロードはこちらから受け付けています。お気軽にご相談ください。
