製造装置用フィルタユニット

PCU型

主な特長

半導体製造装置、搬送装置、保管庫、クリーンブース用途。

機外静圧　98Pa対応を実現

ケミカルフィルタ等の圧力損失を考慮。

消費電力低減

(HEPAフィルタ装着機比)
PCU-0606DP(当社従来機)：　122W　→　PCU-0606DB(モデルチェンジ機)：　75W
PCU-0612DP(当社従来機)：　245W　→　PCU-0612DB(モデルチェンジ機)：　140W

電源は、単相AC100V/200V共用

オプションでDC36Vも対応可能。

無段変速調整

風量コントローラの設定で風量0〜18m³/minまで調整可能。
PCU-0606DBタイプ：　0〜11m³/min
PCU-0612DBタイプ：　0〜18m³/min
(風量は、製品サイズ、フィルタ仕様により異なります。)

PTFEフィルタ仕様において全高98mmを実現

仕様表

薄型フィルタユニット　［PCU型］

型式	可変速タイプ
	PCU-0606DB-E	PCU-0606DB-M	PCU-0606DB	PCU-0612DB-E	PCU-0612DB-M	PCU-0612DB
フィルタ(二次側ラス網付)	PTFE	ULPA	HEPA	PTFE	ULPA	HEPA
試験粒子径 集じん効率(%)	0.1 μm 99.999		0.3 μm 99.99	0.1 μm 99.999		0.3 μm 99.99
製品サイズ (mm)	610×610			610×1220
製品高さ (mm)	98	123		98	123
風量*1 (m3/min)	6.9±20% (風速 0.35m/s 時)			14.1±20% (風速 0.35m/s 時)
消費電力*1 (W)	95±20%	80±20%	75±20%	175±15%	145±15%	140±15%
定格電源電圧 (V)	単相 AC100V/200V 共用　50/60Hz
質量 (kg)	10	11		17	18
風量調整範囲*2 (m3/min)	0 〜 6.9	0 〜 10	0 〜 11	0 〜 14.1	0 〜 18

*1

風速：0.35m/s　機外静圧：98Pa

*2

風量は、風量コントローラの設定で調整範囲内で調整可能です。

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