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Hitachi

株式会社日立産機システム

特長

  1. 排気HEPAフィルタは2重
  2. ハロゲンガス加圧法によるリークテスト
    圧力735Paにおいて、リーク量 10-6ml/s以下の気密性能を確保
  3. 内部圧力表示用の差圧計を標準装備

クラスIIIシリーズ〔GB型〕外観写真