| 型式 | SCV-1309ECⅡB2 | SCV-1609ECⅡB2 | SCV-1909ECⅡB2 |
|---|---|---|---|
| 集じん要素 | HEPAフィルタ | ||
| 集じん効率 | 0.3µm粒子にて99.99%以上、スキャンテイスト合格品 | ||
| 全面シャッタ開口部高さ | 200㎜ | ||
| 排気風量 | 25.0m³/min | 31.9m³/min | 38.1m³/min |
| 吹出し風量 | 14.4〜18.2m³/min | 18.7〜24.0m³/min | 22.2〜28.3m³/min |
| 整流版下150㎜で日立が定めた点の風速平均値ｘ面積 | |||
| 作業台内吹出し風速 | 平均0.30〜0.38m/s | ||
| 平均入流風速 | 0.50〜0.60m/s | ||
| 流入風量 | 7.80〜9.36m³/min | 9.6〜11.5m³/min | 11.7〜14.0m³/min |
| 電源 | AC 1Φ 100V 50Hzまたは60Hz(2P 接地極付プラグコード5m 15A x1本) | ||
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